自主替代與綠色智能變革加速

　　電子化學(xué)品作為電子信息產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵支撐材料，其技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級直接關(guān)系到半導(dǎo)體、平板顯示、新能源等行業(yè)的發(fā)展，而光刻膠、濕電子化學(xué)品、電子氣體等電子化學(xué)品作為其中的關(guān)鍵制造材料，成為行業(yè)關(guān)注焦點(diǎn)。在近日與2025全國石油和化工行業(yè)科技創(chuàng)新大會同期舉辦的2025電子化學(xué)品創(chuàng)新發(fā)展大會暨上下游對接會上，與會專家指出，近年來，中國積極提升高端電子化學(xué)品技術(shù)水平和研發(fā)能力，逐步突破高端產(chǎn)品的技術(shù)壁壘，帶動國產(chǎn)化率進(jìn)一步提升，但部分領(lǐng)域還有很大提升空間。未來，行業(yè)將以綠色、智能為引擎，產(chǎn)業(yè)聚集為方向，邁向高質(zhì)量發(fā)展的新篇章。

　　國產(chǎn)替代“硬骨頭”尚存

　　當(dāng)前，在政策支持與市場需求的雙重推動下，中國電子化學(xué)品國產(chǎn)化率進(jìn)一步提高，但部分領(lǐng)域還是受制于人。對此，石油和化學(xué)工業(yè)規(guī)劃院化工處處長李巖圍繞國內(nèi)電子化學(xué)品發(fā)展現(xiàn)狀及趨勢進(jìn)行了報告。

　　近年來，我國光刻膠國產(chǎn)化率快速提升。2024年多家光刻膠生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)值和利潤暴增，南大光電、彤程電子等國內(nèi)企業(yè)在KrF、ArF光刻膠研發(fā)和量產(chǎn)上實現(xiàn)突破。但高端光刻膠與國外企業(yè)仍存在較大差距，樹脂、光酸等核心原料仍主要依賴進(jìn)口，高分辨率配方研發(fā)滯后。在半導(dǎo)體和新型顯示領(lǐng)域，濕電子化學(xué)品整體國產(chǎn)化率約50%，但28納米以下先進(jìn)制程用濕電子化學(xué)品仍依賴進(jìn)口。此外，在封裝材料領(lǐng)域，引線框架、鍵合絲等傳統(tǒng)封裝產(chǎn)品取得了很大進(jìn)展，形成一定產(chǎn)業(yè)規(guī)模。但部分高端封裝材料國產(chǎn)化率不足10%。

　　西北工業(yè)大學(xué)教授紀(jì)雷介紹了新型顯示器領(lǐng)域的同類“尷尬”。盡管我國在柔性電子材料方面取得了一定進(jìn)展，但柔性電子設(shè)備中的關(guān)鍵材料和設(shè)備仍需從國外引進(jìn)，自給率較低。

　　未來，這些細(xì)分領(lǐng)域的國產(chǎn)化率需加速提升，半導(dǎo)體光刻膠向高端品類突破，化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)墊等“卡脖子”材料逐步實現(xiàn)“零”的突破。

　　綠色智能驅(qū)動產(chǎn)業(yè)變革

　　當(dāng)前，電子化學(xué)品行業(yè)正在向綠色化、智能化方向深度變革，這也成為技術(shù)迭代的方向。

　　專家指出，實現(xiàn)綠色化的方式之一是搭建循環(huán)生產(chǎn)網(wǎng)絡(luò)。如英特爾搭建的化學(xué)循環(huán)網(wǎng)絡(luò)可以通過人工智能實時分析刻蝕液金屬離子濃度，動態(tài)調(diào)節(jié)補(bǔ)加量，大幅提升氫氟酸循環(huán)利用率。住友化學(xué)建設(shè)的光刻膠再生工廠，開發(fā)了低溫真空蒸餾技術(shù)回收極紫外(EUV)光刻膠，純度達(dá)99.9%以上，對比新材料成本降低30%。

　　工藝革新也是綠色化的重點(diǎn)方向。漢高開發(fā)了大豆油基焊膏，其揮發(fā)性有機(jī)物(VOCs)排放減少90%，焊接良率提升0.3%。LG利用捕獲的二氧化碳合成晶圓封裝材料，二氧化碳固碳率達(dá)31%。3M推出新型碳?xì)浔砻婊钚詣?，替代全氟化合物?/p>

　　北京化工大學(xué)李群生教授介紹了電子化學(xué)品的綠色生產(chǎn)新技術(shù)。他認(rèn)為，制備高純/超高純化學(xué)品中分離與提純是關(guān)鍵環(huán)節(jié)，分離過程能耗約占化工能耗的60%。對此，瞄準(zhǔn)產(chǎn)業(yè)痛點(diǎn)，李群生帶領(lǐng)團(tuán)隊矢志攻堅，發(fā)明了精餾技術(shù)、超凈高純試劑制備等領(lǐng)域的節(jié)能新技術(shù)，為行業(yè)綠色轉(zhuǎn)型提供了技術(shù)參考。

　　智能化為產(chǎn)業(yè)綠色發(fā)展賦能。應(yīng)用材料公司應(yīng)用AI配方優(yōu)化CMP研磨液，將配方實驗次數(shù)從5000次壓縮至200次，新品研發(fā)周期縮短60%。巴斯夫在上海電子材料基地構(gòu)建全流程虛擬模型，實時優(yōu)化能耗和物料流。

　　產(chǎn)業(yè)集聚協(xié)同創(chuàng)新

　　與會專家指出，電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)出明顯的集聚特點(diǎn)，如我國長三角電子化學(xué)品聯(lián)盟依托長三角地區(qū)雄厚的化工新材料產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和蓬勃的集成電路、顯示面板等下游應(yīng)用行業(yè)，實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同創(chuàng)新。其中，上海承擔(dān)起突破電子化學(xué)品“卡脖子”難題的戰(zhàn)略任務(wù)，在先進(jìn)制程光刻材料、清洗材料等產(chǎn)學(xué)研合作上呈現(xiàn)多點(diǎn)突破的良好發(fā)展態(tài)勢。江蘇作為全國半導(dǎo)體、化工新材料產(chǎn)業(yè)重要生產(chǎn)基地，已在光刻膠領(lǐng)域、濕電子化學(xué)品領(lǐng)域、電子特氣領(lǐng)域培育出多家實力較強(qiáng)的龍頭企業(yè)。浙江擁有較好的石化產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，積極推動化工產(chǎn)業(yè)向精細(xì)化發(fā)展，也集聚了一批電子化學(xué)品代表企業(yè)。安徽顯示面板產(chǎn)能高，對上游光刻膠的需求也較大，成為光刻膠重要量產(chǎn)基地。

　　國外電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)也呈產(chǎn)業(yè)聚集特點(diǎn)。如德國形成萊茵河化學(xué)走廊，以一體化生產(chǎn)、產(chǎn)業(yè)共生和閉環(huán)回收為路徑實現(xiàn)資源循環(huán)利用。在物流整合方面，企業(yè)間共享副產(chǎn)品、能源和基礎(chǔ)設(shè)施；在技術(shù)創(chuàng)新方面，開發(fā)化學(xué)回收、高純度再生技術(shù)；在數(shù)字化管理方面，利用物聯(lián)網(wǎng)、區(qū)塊鏈追蹤資源流向；所產(chǎn)生的含氟蝕刻液、金屬污泥等廢料則由第三方企業(yè)處理，并從中提取可再利用組分。

　　電子化學(xué)品國產(chǎn)化率提升既需要關(guān)鍵技術(shù)突破，更需要行業(yè)綠色轉(zhuǎn)型與產(chǎn)業(yè)生態(tài)重構(gòu)的支持。隨著技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)集聚的協(xié)同發(fā)力，我國有望在高端電子化學(xué)品領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)完全國產(chǎn)化替代，為電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。